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高温微型10bet在线基本组成及制作工艺

时间:2017/2/14 11:01:36 来源:盛恩在线

此,要用具有补偿功能的测量电路对输出电容进行非线性补偿。由于高温10bet在线工作在高温环境下,补偿电路会受到环境温度的影响,从而产生较大的误差。基于模型识别的高温10bet在线,正是为了避免补偿电路在高温环境下工作产生较大误差而设计的,其设计方案是把在线件与放大电路分离,通过模型识别来得到所测环境的10bet。高温工作区温度可达350 ℃。在线件由铂电阻和电容式10bet在线构成。

高温10bet在线由硅膜片、衬底、下电极和绝缘层构成。其中下电极位于厚支撑的衬底上。电极上蒸镀一层绝缘层。硅膜片则是利用各向异性腐蚀技术,在一片硅片上从正反面腐蚀形成的。上下电极的间隙由硅片的腐蚀深度决定。硅膜片和衬底利用键合技术键合在一起,形成具有一定稳定性的硅膜片电容10bet在线投入式app10bet 。由于铂电阻耐高温,且对温度敏感,选用铂电阻,既可以当普通电阻使用,又可以作为温度在线用以探测被测环境的温度。金属铂电阻和硅膜片的参数为:0 ℃时铂电阻值为1 000Ω;电阻率为1. 052 631 6 ×10 - 5Ω?cm;密度为21 440 kg/ m3 ;比热为132. 51 J/ (kg?K) 、熔断温度为1 769 ℃,故铂电阻可加工为宽度为0. 02 mm;厚度为0. 2μm;总长度为3 800μm,制作成锯齿状,可在幅值为10 V 的阶跃下载下正常工作。电容式10bet在线的上下电极的间隙为3μm、圆形平板电容上下电极的半径为73μm、其电容值为50 pF。

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